AEP Technology(美國)
AEP Technology
美國AEPTechnologywww.aeptechnology.com美國AEPTechnology公司主要從事半導(dǎo)體生產(chǎn)檢測設(shè)備,MEMS生產(chǎn)檢測設(shè)備,光學(xué)生產(chǎn)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造,是表面測量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。該公司生產(chǎn)的NanoMap500WLS非接觸三維表面形貌儀,基于白光干涉測量法,是目前功能極強(qiáng)的全新表面三維輪廓儀,具有很高的精密度和準(zhǔn)確度,既用來獲
得樣品表面垂直分辨率高達(dá)0.1nm的三維形態(tài)和形貌,又可以定量地測量表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等,并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積等參數(shù)。所有測量都是非破壞性和快速的,樣件無須專門處理,在高速掃描狀態(tài)下測量輪廓范圍可以從1nm到10mm。由于采用獨(dú)特的縫合技術(shù),無論怎樣的表面形態(tài)、粗糙程度以及樣品尺寸,一組m×n圖像可以被縫合放大任何倍率,在高分辨率下創(chuàng)造一個(gè)大的視場,并獲得所有的被測參數(shù)。NanoMap500WLS非接觸三維表面形貌儀的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋了薄膜/涂層、工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導(dǎo)體等幾乎所有的材料領(lǐng)域。 AEPistheworldleaderinsurfacemetrologyandtechnologyinnovation.Fromitsinceptionithasdevelopedcuttingedgeinstrumentstoaidresearchersandusers.Asthepioneersofinnovationinhitechengineering,ithasgrownsteadilyinworldwidemarkets.CurrentlyithasofficesinAmerica,AsiaandEurope.