AIXUV(德國(guó))

AIXUV

德國(guó)AIXUVGmbHwww.aixuv.deAIXUV有限公司是一家ExtremeUltravioletradiation-XUV（極紫外線輻射）系統(tǒng)光源和部件的供應(yīng)商。該公司的核心產(chǎn)品是基于壓縮氣體發(fā)光的EUV（極紫外線）燈，這種燈主要用于EUV平板印刷元件的開(kāi)發(fā)，或作為一種新的分析手段。XUV（極紫外線輻射）的光譜范圍介于X-光和真空紫外線之間。在此范圍內(nèi)，內(nèi)核電子的光電效應(yīng)占主導(dǎo)地位。XU V光譜范圍包括X軟光（用來(lái)檢測(cè)活細(xì)胞）和EUV（可能應(yīng)用于將來(lái)的芯片平版印刷）。EUV同時(shí)支持10納米級(jí)的橫向解析度和的交叉截面，這使得XUV特別適合應(yīng)用于未來(lái)的芯片生產(chǎn)和納米技術(shù)。我們的EUV燈附加了環(huán)形光束，可用于單獨(dú)的實(shí)驗(yàn)室。我們?yōu)榭蛻糸_(kāi)發(fā)部件，甚至整個(gè)全自動(dòng)系統(tǒng)解決方案。與客戶一邊溝通一邊進(jìn)行開(kāi)發(fā)是最有效最成功的方法。AIXUV有限公司的EUV燈電極壽命超過(guò)1000小時(shí)并且適用于多種用途。我們的客戶用EUV燈開(kāi)發(fā)出了用來(lái)檢測(cè)EUV光源特性的量具，并將EUV燈應(yīng)用于EUV顯微鏡。此外，我們根據(jù)客戶的需要開(kāi)發(fā)了以EUV燈為基礎(chǔ)的工具，用于檢測(cè)EUV的曝光性和EUV反射計(jì)的特性。AIXUVGmbH(pronounced:aex-u-v)isasupplierofsources,componentsandsystemsusingExtremeUltravioletradiation.AIXUV?scoreproductisthecompactgasdischargebasedEUV-lampwhichisusedforthedevelopmentofcomponentsforEUVlithographyandfornewanalyticalapproaches.ExtremeUltravioletradiation(XUV)isthespectralrangebetweenX-raysandvacuumultraviolet.Thespectralrange