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Aurion Anlagentechnik
德國AurionAnlagentechnikGmbH www.aurion.deAurion公司生產(chǎn)、銷售使用等離子體處理技術(shù)和無線射頻元件進行表面處理和表面涂層的設(shè)備。使用的等離子技術(shù)包括:●RIE(活性離子蝕刻)清潔和活化技術(shù);微波下游的等離子技術(shù)●PVD(物理蒸汽沉積,擴散)涂層技術(shù);PECVD(等離子體增強化學蒸氣沉積)技術(shù)●大氣等離子活化技術(shù)除了成套的系統(tǒng)與元件外,Aurion公司還可以 在等離子與無線電頻率技術(shù)方面提供咨詢服務(wù),并進行人員培訓。在提供標準表面處理系統(tǒng)的同時,Aurion還為有特殊要求的客戶提供定制服務(wù),例如:根據(jù)客戶特殊需求提供整套解決方案。Aurion的等離子系統(tǒng)目前應(yīng)用于以下行業(yè):●半導(dǎo)體●醫(yī)藥技術(shù)●光學●汽車行業(yè)Auriondeliverssystemsfortreatmentandcoatingofsurfacesbymeansofplasmaprocessesaswellasradiofrequencycomponents.Plasmatechnologiesemployedare:●CleaningandactivationwithRIE(ReactiveIonEtching)andMicrowavedownstreamplasma●CoatingwithPVD(PhysicalVapourDeposition,Sputtering)andPECVD(PlasmaEnhancedChemicalVapourDeposition)●ActivationwithatmosphericplasmaApartfromsystemsandcomponentsAurionoffersitsexpertiseintheareaof
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