產(chǎn)品簡介：
顯微分光光度計(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用來描述薄膜、涂層厚度過1微米的物件的光學(xué)性能的。顯微分光光度計同樣也被稱作為：microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠著Angstrom公司的設(shè)計，MSP系列產(chǎn)品有著在線的實時數(shù)字成像系統(tǒng)，以及強(qiáng)大的數(shù)字編輯能力、擁有者反射率、率及吸收光譜等測量工具?？梢栽诤撩氲臅r間內(nèi)就完成數(shù)據(jù)采集。在進(jìn)行諸如反射、、涂層厚度、折射率(光學(xué)常數(shù))等光學(xué)性能改變的運動學(xué)研究方面，TFProbe軟件允許用戶設(shè)立加熱階段或冷卻階段。在各種MSP型號的可移動X-Y平臺或ρ-θ平臺中都可以用到自動成像功能，在使用螺桿的電動調(diào)焦功能上也同樣的能使用此功能。儀器所能測量的波長范圍通常是用戶考慮的重要的一個參數(shù)，Angstrom公司的MSP產(chǎn)品，其測量波長覆蓋了從深紫外光(DUV)到近紅外光的范圍。這個波長范圍應(yīng)當(dāng)諸如薄膜或涂層的厚度、反射或的典型波長范圍等因素決定。
產(chǎn)品特點：
● 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
● 的深紫外光學(xué)及堅固耐用的震設(shè)計，以系統(tǒng)能發(fā)揮出的性能及長的正常運行時間
● 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng)，以快速測量
● 格，便攜式及靈巧的操作臺面設(shè)計
● 在很小的尺寸范圍內(nèi)，多可測量多達(dá)5層的薄膜厚度及折射率
● 在毫秒的時間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
● 能夠用于實時或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率
● 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
● 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測量分析
● 系統(tǒng)了可視化、光譜測量、、薄膜厚度測量等功能于一體
● 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度(厚可測200mm)的基片測量
● 使用深紫外光測量的薄膜厚度可至20 ?
● 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面
● 的成像軟件可用于諸如角度、距離、面積、粒子計數(shù)等尺寸測量
● 各種不同的選配件可滿足客戶各種的應(yīng)用
系統(tǒng)配置：
● 型號：MSP300R
● 探測器：2048像素的CCD陣列
● 光源：直流穩(wěn)壓鹵素?zé)?
● 光傳送方式：光纖
● 自動的臺架平臺：處理的鋁合金操作平臺，手動調(diào)節(jié)移動范圍為75mm×55mm
● 物鏡有著長焦點距離:4×，10×，50×
● 通訊接口：U的通訊接口與計算機(jī)相連
● 測量類型：反射/光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數(shù)
● 計算機(jī)硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，200G硬盤、DVD刻錄機(jī)，19”LCD顯示器
● 電源：110–240V AC/50-60Hz，3A
● 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設(shè)置)
● 重量：120磅總重
● 保修：一年的整機(jī)及備件保修
基本參數(shù)：
● 波長范圍：400nm到1000 nm
● 波長分辨率: 1nm
● 光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 8μm (50x)
● 樣品尺寸：標(biāo)準(zhǔn)150×150mm
● 基片尺寸：多可至20mm厚
● 測量厚度范圍: 10nm 到25 μm
● 測量時間：快2毫秒
● 度：0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
● 重復(fù)性誤差：小于2 ?
應(yīng)用領(lǐng)域：
● 半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride..)
● 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..）
● ，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
● 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
● 醫(yī)藥及醫(yī)藥中間設(shè)備等
● 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
● 半導(dǎo)體化合物
● 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
● 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅
產(chǎn)品可選項：
● 波長可擴(kuò)展到遠(yuǎn)深紫外光(MSP100)或者近紅外光范圍(MSP500)
● 高功率的深紫外光?用于小斑點測量
● 可根據(jù)客戶的需求來定制
● 在動態(tài)實驗研究時，可根據(jù)需要對平臺進(jìn)行加熱或致冷
● 可選擇的平臺尺寸多可測量300mm大小尺寸的樣品
● 更高的波長范圍的分辨率可0.1nm
● 各種濾光片可供各種的需求
● 可添加應(yīng)用于熒光測量的附件
● 可添加用于拉曼應(yīng)用的附件
● 可添加用于偏光應(yīng)用的附件
● 自動成像平臺多可對300mm的晶片進(jìn)行操作
