- 原產(chǎn)地：IPHONE5煙臺微波
CMS系列試驗/實驗用微波真空高溫管式爐專門設(shè)計用于高溫工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。 窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，進口優(yōu)質(zhì)微波源加熱，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛, 系統(tǒng)可預抽真空，氣體采用浮子流量計控制。進口單回路智能溫度控制儀控制，設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設(shè)備。
一、試驗/實驗用微波真空高溫管式爐技術(shù)指標：
設(shè) 備 型 號 | NT-CVD(G)-08/50/1 |
溫區(qū)溫度 | 1650℃；(長恒溫時間：≥10小時)； |
加熱有效容積 | Φ72（內(nèi)經(jīng)）×500mm;恒溫區(qū)尺寸：Φ72（內(nèi)經(jīng)）×250mm |
爐管實際尺寸 | Φ80（外徑）×1400mm （國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管） |
爐 膛 材 料 | 氧化鋁纖維制品 |
控制溫區(qū)點數(shù) | 1個，1支B分度熱偶 |
設(shè)備溫場溫差 | ±1℃ ，日本島電進口40段程序控制儀表(1只) |
加 熱 元 件 | 優(yōu)質(zhì)進口微波源 |
加熱功率 | 4Kw |
保 溫 功 率 | 1kw |
升溫速率 | 10℃∽120℃/min; |
降溫速率 | 3℃∽7℃/min |
溫度均勻性 | ±3℃(有效范圍：Φ72×250mm) |
氣路配件材料 | 氣路配件材料，端頭不銹鋼發(fā)蘭密封，一路氣體采用浮子流量計控制,所有管道和閥門采用不銹鋼元件 |
極 限 真 空 | ≤10Pa（常溫） ,機械泵（配電磁閥）。 |
壓升率 | ≤5Pa/h |
