| 類型 | 光學顯微鏡 | 品牌 | zeta |
| 型號 | zeta 20 | 儀器放大倍數 | 5x---100x |
| 目鏡放大倍數 | 5x---100x | 物鏡放大倍數 | 5x---100x |
| 適用范圍 | 更快速地對LED/PSS、太陽能電池、微流體導管等樣品表面進行成像分析 |
Zeta光學顯微鏡
三維成像及測量系統
- · 樣本本色三維成像
- · 臺階高度，線、面粗糙度，角度和尺寸測量
- · 高粗糙度、低反射率樣品的測量
- · 深槽和其它高縱橫比面形貌特征的成像
- · 薄膜厚度測量和DIC功能選項
- · 多功能、操作簡便的應用軟件
由位于美國硅谷的Zeta儀器公司研制，Zeta 20 是一個集多種測量手段于一身的精密光學儀器。它體積小，，使用方便，是解決用戶三維成像和測量問題的工具。與市場上售價昂貴的同類產品相比，ZETA 20的三維成像技術能夠更準確，更快速地對LED/PSS、太陽能電池、微流體導管等樣品表面進行成像分析。非接觸式測量加上維護成本使得Zeta 20成為三維測量系統中性能價格比優的解決方案。
應用實例
1. LED/PSS（圖形化藍寶石基板） 高度、尺寸和間距的自動測量；蝕刻前后的基板表面測量
2.太陽能電池 AR薄膜厚度監控；HDR成像使得同時測量高反射率的柵線與低反射率的氮化硅成為可能
3.生物科技/微流體 大視場三維成像；高縱橫比深槽和其它復雜表面形貌特征的測量
4.精密研磨 鉆石拋光墊等粗糙表面的成像和測量
典型系統配置
顯微鏡系統
光源：高亮度白光LED
物鏡：5x，10x，20x，50x，100x
耦合鏡：0.5x
手動載物臺：100mm x 100mm XY驅動范圍
Z軸：30mm縱向驅動范圍
數碼相機：1024x768像素，1/3英寸CCD
計算機控制系統
CPU：英特爾®酷睿2雙核處理器
內存：3GB
硬盤：320GB
顯示器：22英寸寬屏LCD（1680x1050像素）
