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| 品牌 | 美國mks | 型號 | DELTA流量比例控制器 |
| 測量范圍 | 500SCCM到1000SCCM | 測量 | 5% |
| 產品適用范圍 | 各種氣體 |
大連瑞聞科技有限公司為您提供、高質量美國MKS流量測量和控制產品！
DELTA 流量比例控制器能夠是您獲得的工藝性能，它具有以下顯著特點：
1、廣泛用于需要不同流量的分離設備，如刻蝕、去膠和PECVD等，可將目的氣體按照設定比例輸送到同一反應器的不同區域.
2、大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇.
3、該設備在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。
