技術(shù)參數(shù)：
名義抽氣速率注1 L/s 600
極 限 壓 力注2 Pa 6×10-8
6×10-7
啟動時(shí)間 min ≤7
振動 μm ≤0.1
噪 聲 dB < 65
轉(zhuǎn)速 rpm 36000
進(jìn)氣口通徑 mm 160
出氣口通徑 mm 40
電源啟動功率 W ≤500
電源消耗功率 W < 240
使用軸承 精密陶瓷軸承
冷卻方式 水冷
安裝方式 垂直
主要特點(diǎn)：
1.高極限真空
整體加工轉(zhuǎn)子，加工、裝配提高，轉(zhuǎn)子強(qiáng)度得到提高，可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速，抽速、極限真空均得到提高。
2.大抽速
高壓強(qiáng)區(qū)抽速進(jìn)一步得到提高。
3.高可靠性
轉(zhuǎn)子強(qiáng)度提高，重量進(jìn)一步降低，采用陶瓷球軸承，分子泵的運(yùn)轉(zhuǎn)可靠性、壽命得到增強(qiáng)。
4.強(qiáng)抗沖擊性
整體加工轉(zhuǎn)子剛度得到提高。抗沖擊、防大氣突入能力進(jìn)一步得到提高。
5.性能一致性
轉(zhuǎn)子采用整體加工，克服了分片組裝轉(zhuǎn)子所不可避免的級間返流問題。減少了多個(gè)產(chǎn)品間性能的不一致性。
