電子探針(EPMA)是用極細的電子束對樣品表面進行照射產(chǎn)生特征性X射線，對特征性X射線進行分光和強度測定，得到微小區(qū)域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 采用波長色散型X 射線分光器（WDS），與能量色散型X 射線分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特點。因此，EPMA與掃描型電子顯微鏡（SEM）配置EDS 檢測器比較，可以進行更高和更高靈敏度的分析。

    島津公司在19世紀60年代，開發(fā)出世界首臺電子探針“MOSRA”,并不斷推出【ASM】、【EMX】、【EPM】、【EPMA】系列產(chǎn)品，始終秉承【重視高取出角、注重元素分析】的開發(fā)理念，將電子探針的功能完美發(fā)揮。 

    2009年，推出新型電子探針EPMA-1720/1720H，將先進的分析本領(lǐng)與卓越的操作性能融為一體。

●分析元素范圍        ₄Be～₉₂U
●X射線分光器數(shù)      2～5 道
●X射線取出角          52.5°
●羅蘭圓半徑            4英寸（101.6mm）
●二次電子分辨率    6nm ( EPMA-1720), 5nm ( EPMA-1720H)

先進的分析本領(lǐng)與卓越的操作性能融為一體！
◆X射線取出角決定分析性能，52.5°高取出角更勝一籌。
◆Johanson型分光晶體同時實現(xiàn)高靈敏度•高。
◆可配置5道覆蓋全部分光范圍的4英寸分光器。
◆高亮度電子槍CeB6保證長期穩(wěn)定的高空間分辨率。