儀器簡介:
S-3400N具有新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強(qiáng)大的自動(dòng)化功能,操作更簡便
技術(shù)參數(shù):
二次電子SE分辨率:3.0nm (高真空,30KV) ,10nm(高真空,3KV)
背散射電子BSE分辨率:4.0nm (低真空,30KV)
倍率:5~300,000倍
主要特點(diǎn):
具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能,包括自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦和消色散、自動(dòng)亮度對比度等
在3KV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率
新型5分割高靈敏度半導(dǎo)體背散射探頭
S-3400 II型具有5軸馬達(dá)臺(tái),傾斜角度可達(dá)-20º ~+90º,樣品可達(dá)80mm
分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX,WDX和EBSD
真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,工作效率高




