2軸型 (X, Y)

型號

MF-A505B

MF-A1010B

MF-A2010B

MF-A2017B

MF-A3017B

MF-A4020B

貨號

176-561A

176-562A

176-563A

176-564A

176-565A

176-566A

3軸型 (X, Y, Z)

型號

MF-B505B

MF-B1010B

MF-B2010B

MF-B2017B

MF-B3017B

MF-B4020B

貨號

176-581A

176-582A

176-583A

176-584A

176-585A

176-586A

調(diào)焦方式

手動(dòng)調(diào)焦（粗調(diào)焦：10mm/rev   微調(diào)焦：0.1mm/rev)

測量方法

線性導(dǎo)軌和電子光柵尺

物鏡

標(biāo)配

3X (375-037)

選配

1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

輪廓照明

帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)

鹵素?zé)襞?/span>(12V 50W)

光強(qiáng)度可調(diào)，無級亮度調(diào)整

表面照明

帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)

鹵素?zé)襞?/span>(12V 50W)

光強(qiáng)度可調(diào)，無級亮度調(diào)整

Z軸

移動(dòng)范圍

150mm (6”)

220mm (8.7”)

聚集

手動(dòng)調(diào)焦（粗調(diào)焦：10mm/rev   微調(diào)焦：0.1mm/rev)

示值

(5+0.04L)um    L為測量長度     （20?C時(shí)）

XY工作臺

測量范圍

50x50mm

100x100mm

200x100mm

200x170mm

300x170mm

400x200mm

移動(dòng)裝置

帶有快速移動(dòng)開關(guān)裝置

測量

(2.5+0.02L)um L為測量長度     JIS B7153     （20?C時(shí)）

旋轉(zhuǎn)角度

-

-

-

±5°

±5°

±3°

工件高度

150mm (6”)

220mm (8.7”)

工件重量

10kg (22lbs)

20kg (44lbs)

15kg (33lbs)

分辨率

0.001mm/ 0.0005mm/ 0.0001m/ .0001”/ .00005”/.00001”

數(shù)據(jù)輸出

 RS-232數(shù)據(jù)輸出端口

電源

100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz

重量

65.5kg

65.5kg

69.5kg

130kg

138kg

144kg

可選配件

光纖照明裝置，QM-DATA數(shù)據(jù)處理器，電子聚集系統(tǒng)，QSPAK視像測量軟件