雙面研磨設(shè)備工作原理：
1．本系列研磨機(jī)為超高精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。
2．本系列研磨機(jī)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行平面修整。

雙面研磨設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
型 號(hào)    SX-4B    SX-5B    SX-6B    SX--7BG    SX--9B
研磨盤規(guī)格：    φ200×φ100×12t    φ300×φ120×12t    φ380×φ140×12t    φ510×φ200×12t    φ635×φ240×12t
加工工件尺寸    φ60mm    φ100mm    φ130mm    φ165mm    φ200mm
工件平面度（25mm）    ±0.1u以內(nèi)    ±0.1u以內(nèi)    ±0.1u以內(nèi)    ±0.1u以內(nèi)    ±0.2u以內(nèi)
工件平行度（25mm）    ±0.2u以內(nèi)    ±0.2u以內(nèi)    ±0.2u以內(nèi)    ±0.2u以內(nèi)    ±0.4u以內(nèi)
工件粗糙度（石英材料）    0.4nm以內(nèi)    0.4nm以內(nèi)    0.4nm以內(nèi)    0.4nm以內(nèi)    0.4nm以內(nèi)
研磨盤修面后平行度    ±1u以內(nèi)    ±1u以內(nèi)    ±1u以內(nèi)    ±2u以內(nèi)    ±2u以內(nèi)
游輪規(guī)格    φ80mm    φ125mm    φ155mm    φ190mm    φ230mm
游輪數(shù)量    5 枚    5 枚    5 枚    5 枚    5 枚
下研磨盤轉(zhuǎn)速    0~180rpm    0~180rpm    0~180rpm    0~140rpm    0~140rpm
下研磨盤電機(jī)功率    0.4kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.75kw 3相380V    1.5kw 3相380V    2.2kw 3相380V
上研磨盤研磨轉(zhuǎn)速    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm
上研磨盤電機(jī)功率    0.2kw 3相380V    0.2kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.75kw 3相380V    1.5kw 3相380V
上研磨盤修面轉(zhuǎn)速    0~180rpm    0~180rpm    0~180rpm    0~140rpm    0~140rpm
上研磨盤修面電機(jī)功率    0.2kw 3相380V    0.2kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.75kw 3相380V
太陽(yáng)輪轉(zhuǎn)速    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm    0~60rpm
太陽(yáng)輪電機(jī)功率    0.2kw 3相380V    0.2kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.75kw 3相380V
外齒輪轉(zhuǎn)速    0~30rpm    0~30rpm    0~30rpm    0~30rpm    0~30rpm
外齒輪電機(jī)功率    0.2kw 3相380V    0.2kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.4kw 3相380V    0.75kw 3相380V
修面機(jī)速度    200mm/分鐘    200mm/分鐘    200mm/分鐘    200mm/分鐘    200mm/分鐘
修面機(jī)伺服馬達(dá)功率    750w    750w    750w    750w    750w
外形尺寸：    680×1000×2100mm    740×1100×2200mm    800×1200×2300mm    1000×1450×2400mm    1200×16150×2400mm
重量：    760kg    850kg    1100kg    1600kg    2300kg

 
雙面研磨設(shè)備主要用途：

該機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高研磨、拋光。更多關(guān)于平面研磨機(jī) 平面拋光機(jī) 研磨拋光機(jī) 藍(lán)寶石襯底拋光。

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