| 主要規格 | 規格描述 |
| X射線激發系統 | 垂直下照式X射線光學系統 |
| 空冷式微聚焦型X射線管，Be窗 |
| 標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等 |
| 功率：50W(4-50kV，0-1.0mA) |
| 裝備有安全防射線光閘 |
| 二次X射線濾光片：3個位置程控交換，多種材質、多種厚度的二次濾光片任選 |
| 準直器系統 | 單準直器組件 |
| 多準直器自動控制組件：多可同時裝配6種規格的準直器 |
圓形、矩形和多種規格尺寸準直器任選（紅色為常用的）： | 類型 | 單位 | 準直器規格 | | 圓形 | mil | 4 | 6 | 8 | 12 | 13 | 20 | | mm | 0.102 | 0.152 | 0.203 | 0.305 | 0.33 | 0.508 | | 矩形 | mil | 1x2 | 2x2 | 0.5x10 | 1x10 | 2x10 | 4x16 | | mm | 0.025x0.05 | 0.05x0.05 | 0.013x0.254 | 0.254x0.254 | 0.051x0.254 | 0.102x0.406 |
|
| 測量斑點尺寸 | 在12.7mm聚焦距離時，小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準直器) |
| 在12.7mm聚焦距離時，測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準直器) |
| 樣品室 | 開槽式樣品室 |
| 樣品臺尺寸 | 610mm x 610mm |
| XY軸移動范圍 | 標準：152.4 x 177.8mm<程控> |
| Z軸程控移動高度 | 43.18mm |
| XYZ軸控制方式 | 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制；XY軸手動控制和Z軸程序控制；XYZ三軸手動控制 |
| 樣品觀察系統 | 高分辨彩色CCD觀察系統，標準放大倍數為30倍。50倍和100倍觀察系統任選。 |
| 激光自動對焦功能 |
| 可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
| 計算機系統配置 | IBM計算機佳能或愛普生彩色噴墨打印機 |
| 分析應用軟件 | 操作系統：Windows XP中文平臺分析軟件包：SmartLink FP軟件包 |
| 測厚范圍 | 可測定厚度范圍：取決于您的具體應用。 |
| 基本分析功能 | 采用基本參數法校正。牛津儀器將根據您的應用提供必要的校正用標準樣品； |
| 樣品種類：鍍層； |
| 可檢測元素范圍：Ti22 – U92； |
| 可同時測定5層/15種元素/共存元素校正； |
| 貴金屬檢測，如Au karat評價； |
| 材料和合金元素分析； |
| 材料鑒別和分類檢測； |
| 多達4個樣品的光譜同時顯示和比較； |
| 元素光譜定性分析。 |
| 調整和校正功能 | 系統自動調整和校正功能，自動消除系統漂移 |
| 測量自動化功能 | 鼠標激活測量模式：“Point and Shoot” |
| 多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、重復測量模式 |
| 測量位置預覽功能 |
| 激光對焦和自動對焦功能 |
| 樣品臺程控功能 | 設定測量點 |
| 連續多點測量 |
| 測量位置預覽(圖表顯示) |
| 統計計算功能 | 平均值、標準偏差、相對標準偏差、值、小值、數據變動范圍、數據編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖 |
| 任選軟件：統計編輯器允許用戶自定義多媒體書 |
| 數據分組、X-bar/R圖表、直方圖 |
| 數據庫存儲功能 |
| 系統安全監測功能 | Z軸保護傳感器樣品室門開閉傳感器 |
