| AE-100M | |||
| 產(chǎn)品用途 | |||
| 結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。 | |||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |||
| ● 奈米深度3D檢測 ● /無接觸量 ● 表面形狀/粗糙度分析 ● 非透明/透明材質(zhì)皆適用 ● 非電子束/非雷射的量測 ● 低維護(hù)成本 | |||
| 級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo） | |||
| ● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動表面平整化處理功能 ● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度 ● （waviness）的測量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer） ● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析 ● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能 ● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出 | |||
| 精密的干涉解析軟件(ImgScan) | |||
| ● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋 ● 垂直高度可達(dá)0.1nm ● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果 ● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇 ● 平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利 ● 具有手動/自動光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對比 ● 具有高的PVSI與VSI掃描測量模式供選擇 ● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌 ● 具有自動布補(bǔ)點(diǎn)功能 ● 可自行設(shè)定掃描方向 | |||
| 技術(shù)規(guī)格參數(shù) | |||
| 型號 | AE-100M | ||
| 移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ，行程13*13 | ||
| 物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
| 觀察與量測范圍 | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
| 光學(xué)分辨力(um) | 0.9 | 0.69 | 0.5 |
| 收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
| 工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| 傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
| 機(jī)臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
| Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細(xì)調(diào) | ||
| Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨率1um | ||
| 傾斜調(diào)整平臺 | 雙軸/手動調(diào)整 | ||
| 高度測量 | |||
| 測量范圍 | 100（um)(400um ,選配) | ||
| 量測分辨力 | 0.1mm | ||
| 重復(fù) | ≤ 0.1％ (量測高度:>10um) ≤10um(量測高度1um 10um) ≤ 5nm(量測高度:<1um ) | ||
| 量測控制 | 自動 | ||
| 掃描速度(um/s) | 12() | ||
| 光源 | |||
| 光源類型 | 儀器用鹵素（冷）光源 | ||
| 平均使用壽命 | 1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W） | ||
| 光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動/手動 | ||
| 數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | |||
| 處理運(yùn)算屏幕 | 雙以上CUP | ||
| 影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
| 操作系統(tǒng) | Windows XP(2) | ||
| 電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
| 環(huán)境震動 | VC-C等級以上 | ||
| 測量分析軟件 | |||
| 量測軟件ImgScan | 具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配） | ||
| 分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D |
東莞市長安傅國五金儀器經(jīng)營部
免企業(yè)未認(rèn)證證營業(yè)執(zhí)照未上傳
掃一掃
進(jìn)入手機(jī)店鋪