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性能指標：光學系統規格| 物鏡 | 目鏡 | 顯微鏡 | 工作距離 | 視場直徑 | ||
| 放大倍數 | 焦距 | 放大倍數 | 焦距 | 放大倍數 | ||
| 2.5×/0.08 | 43.40 | 10× | 25.00 | 25× | 58.84 | 5.6 |
| 10×/0.25 | 17.13 | 100× | 7.81 | 1.6 |
測量工作臺讀數裝置主要規格
X軸遇到測量范圍50nmY軸遇到測量范圍13nm測量器分度值：0.01nm測量臺轉動范圍不限： limit測量臺刻度盤分度范圍：0°～360°測量臺刻度盤之分度值：1°測量臺刻度盤游標讀數示值：6’ 測量：儀器示值誤差：&plun; （4+L/15）μ m儀器示值誤差：包括測量誤差和系統誤差
注：測量地點溫度變化20℃ &plun;3℃，L--被測件長度
