供應日本KOSAKA臺階儀ET200——上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州
KOSAKA LAB ET 200
微細形狀測定機（探針接觸式臺階儀）
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950 年創立的公司，也是日本家發表光學干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的。
設備特點：
KOSAKA ET 200 基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高表面形貌分析應用。ET 200 能地量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
ET 200 配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
規格
一、測定工件：
1. 工件尺寸：φ160mm
2. 工件厚度：50mm
3. 工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定范圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移動量(測長)：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm
四、Z軸：
1. 移動量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸：φ160mm
2. 機械手動傾斜： &plun; 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它率CCD)
七、床臺：材質為花崗巖石
八、振臺(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V&plun;10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H610mm, 120kg
(?含震臺)
具體型號及技術要求歡迎來電咨詢。
聯系方式：
蘇州諾威特測控科技有限公司
Add：中國蘇州市高新技術開發區金楓南路198號
聯系人：夏先生
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