產(chǎn)品品牌：

NEMSIC美新

產(chǎn)品型號：

MXC6225xQ

簡 介
MEMSIC 器件是基于單片 CMOS 集成電路制造工藝而
生產(chǎn)出來的一個完整的雙軸加速度測量系統(tǒng)就像其它
加速度傳感器有重力塊一樣MEMSIC 器件是以可移
動的熱對流小氣團作為重力塊器件通過測量由加速度
引起的內(nèi)部溫度的變化來測量加速度
MEMSIC 傳感器中的質(zhì)量塊是氣體氣態(tài)的質(zhì)量塊同
傳統(tǒng)的實體質(zhì)量塊相比具有很大的優(yōu)勢MEMSIC 的
器件不存在電容式傳感器所存在的粘連顆粒等問題
同時能抵抗50000g 的沖擊這使得MEMSIC 器件的次
品率和故障率很低通過測量溫度變化來確定加速度的
裝置原理將在下面介紹
一個被放置在硅芯片中央的熱源在一個空腔中產(chǎn)生一
個懸浮的熱氣團同時由鋁和多晶硅組成的熱電耦組被
等距離對稱地放置在熱源的四個方向在未受到加速度
或水平放置時溫度的下降陡度是以熱源為中心完全對
稱的此時所有四個熱電耦組因感應(yīng)溫度而產(chǎn)生的電壓
是相同的(見圖1)
由于自由對流熱場的傳遞性任何方向的加速度都會擾
亂熱場的輪廓從而導(dǎo)致其不對稱此時四個熱電耦組
的輸出電壓會出現(xiàn)差異而這熱電耦組輸出電壓的差異
是直接與所感應(yīng)的加速度成比例的在加速度傳感器內(nèi)
部有兩條完全相同的加速度信號傳輸路徑一條是用于
測量X 軸上所感應(yīng)的加速度另一條則用于測量Y 軸
上所感應(yīng)的加速度