- 產(chǎn)品品牌：
- MKS
- 產(chǎn)品型號：
- 1159A
質(zhì)量流量控制器（大流量，常閉閥）
1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559獨(dú)有的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應(yīng)時間。它的這個特點(diǎn)是通過使用一“平衡力”閥門的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài)。1559的為全量程的±1％。
例：型號1559A00421LS1BV
采購序列號
校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
**校準(zhǔn)流量SLM－sccm（相當(dāng)?shù)獨(dú)?/B>200SLM）
20 021L
50 051L
100 12L
200 22L
裝配件（Y）
標(biāo)配：Swagelok 0.5英寸管 S
選配：SwagelokR 8VCRR 凸接頭 R
選配：SwagelokR 8VCOR 凸接頭 G
閥
常閉 1
電氣/通訊連接器
模擬15針D B
密封（Z）
標(biāo)配: Viton R V
選配: Neoprene R N
選配: BunaN B
選配: KalrezRR K
用于1559A的電纜線
CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247
（如要在247上連接2個以上的通道，需要添加一個電源，請用CB1559-1-10）
CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS
