一.臭氧發生器按其原理可分為：1.電暈放電式；2.電解式；3.紫外照射式；4.核輻射式。應用廣泛的是電暈放電式臭氧發生器。它由臭氧管、臭氧電源，氣源裝置及電控裝置組成。

二.電暈放電式臭氧發生器按電極的制造材料（通常指介電材料）可以分為：膜介質,玻璃，陶瓷，搪瓷，云母等。應用廣泛的材料是玻璃，玻璃介電體適合大型及中小型臭氧發生器。但玻璃介電體機械強度差現已陸續被其他材料替代。搪瓷介電體在大型臭氧發生器用應較多，它的特點是介質于電極于一體結構緊湊，機械強度高，臭氧產率大等特點，是臭氧設備中較為優良的材料。

　　三.臭氧發生器按運行頻率可分為：1.工頻臭氧發生器（工作頻率50-60Hz)；2.中頻臭氧發生器（工作頻率600-800Hz)；3.高頻臭氧發生器（1KHz-20KHZ）。高頻臭氧發生器運行效率高節約電能，現已陸續取代工頻和中頻高能耗臭氧發生器。

　　四.臭氧發生器按臭氧發生量通常可分為：小型（臭氧產量100g/h以下），中型（臭氧產量100g/h-1000g/h)，大型（臭氧產量1Kg/h以上）。

　　五.臭氧發生器按冷卻方式可分為：水冷式，風冷式，風水雙冷式，油冷式，油水雙極液冷式。小型低濃度臭氧發生器通常采用風冷；大中型臭氧發生器基本采用水冷；臭氧濃度高的發生器采用雙極冷卻。

　　六.臭氧發生器按結構形式可分為：管式，板式，立式，臥式。小型臭氧發生器通常為管式或板式，中型臭氧發生器大多采用多管并聯，大型臭氧發生器基本以臥式為主（內部由若干只電極組成）。