產品詳情

上市時間：2011年4月
創新點:日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發射掃描電鏡，其中SU8020、SU8030和SU8040，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，特別是新開發的Top探頭可以獲得以往掃描電鏡難以獲取的樣品電位圖像和高靈敏度原子序數襯度圖像，為科研和檢測提供了新的手段。
SU8000系列具有的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm；采取Hitachi設計的E×B系統，可以自由控制SE和BSE檢測信號，可以不噴鍍直接觀測不導電樣品；標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能，儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成，有效降低樣品污染和方便儀器維護。

詳細信息

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測器設計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現微區的形貌襯度、原子序數襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測；結合選配的STEM探測器，還可以實現明場像和暗場像的觀測；此外在半導體應用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號的采集，對樣品的信息的收集達到了新的高度。
特點：
1. 的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

項目		SU8020	SU8030				SU8040
二次電子分辨率		1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm）
		1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm）
加速電壓		0.1～30kV
觀測倍率		20～8000,000(底片輸出)
		60～2,000,000（顯示器輸出）
樣品臺
馬達驅動		5軸				REGULUS樣品臺
行程	X	0～50mm		0～110mm
	Y	0～50mm		0～110mm		0～80mm
	Z	360°
	T	-5～70°
	R	1.5～30mm			1.5～40mm
裝載尺寸		100mm（）			150mm（）			150mm（）
		150mm（選配）			200mm（選配）
探頭
標配	Lower	高立體感圖像
	Upper	高分辨SE、LA-BSE圖像
	Top	SE的電位襯度像、HA-BSE圖像
選配	STEM	明場像、暗場像
	YAG 探頭	BSE圖像
	半導體探頭	BSE圖像
	EBIC	電子束感生電流圖像
	EDS	元素分析
反污染措施
冷指		標配
物鏡光闌		內置自清潔功能
電子槍		內置加熱器
真空系統
離子泵		3臺
分子泵		1臺
機械泵		1臺