產品型號：

XLE-3

·產品介紹    XLE-3型大平臺檢測顯微鏡是專為IT行業大面積集成電路，晶體的質量檢測而設計開發制造的。
    正置式，三目鏡筒，比傳統的顯微鏡更適合于觀察。上部安裝彩色攝像機連續彩色監視器可直接觀察。可連接計算機打印、照片或連接數碼相機，照相機直接拍照，還可以直接進行圖像記錄，并建立技術檢測檔案，存儲，查詢，可省去復雜煩瑣的攝影，洗印等暗室工作，大大的提高了工作效率。
·產品特點 1、放大倍數：40倍至500倍；
2、超大型載物臺，可作大范圍的縱橫方向快、慢速移動，擴大檢測領域的使用范圍。
3、可以與OVM-TM軟件搭配使用。
·技術參數 　 1、機械筒長160mm。       2、物鏡

放大倍數	數值孔徑	工作距離	介質	使用范圍	配置
4×	0.10	17.912	空氣	明場	1
10×	0.25	6.544	空氣	明場	1
PC20×	0.40	1.05	空氣	明場	1
PC40×	0.65	0.736	空氣	明場	1

3、目鏡

放大倍數	焦距	視場直徑	備注
10×	25	18	-
12.5×	25	14	選配

4、物鏡：放大倍數 40倍至500倍。 5、載物臺面積  400mm×300mm。縱向移動范圍---254mm橫向移動范圍---254mm 6、調焦機構：同軸粗微調機構，調焦范圍36mm.格值0.002mm。 7、光源：內藏式連續調光電源，鎢鹵素燈12V/50W。 8、物鏡轉換器  五孔式 (四孔式)。 9、目鏡筒  三目鏡  (雙目鏡)。 10、儀器功能，明場、偏光、攝影等。 11、儀器重量：17公斤。 12、儀器體積：長560mm，寬530mm，高400mm。