- 產品品牌：
- K-MAC科美儀器
- 產品型號：
- ST5000
活動范圍 ~300mm x 300mm
測量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option)
測量速度 1~2 sec./site(fitting time)
應用領域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
選擇 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物鏡旋轉器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp
- 主要特點
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尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
重量 400kg
類型 自動的
測量方法 無連接的
測量原理 反射計
特征測量迅速，操作簡單
非接觸式，非破壞方式
的重復性和再現性
2D/3D 映射和造型
自動機械活動控制
電荷耦合器件照相機
自動調焦
- 儀器介紹
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1996年以來，科美在半導體，平板顯示器，電子物質，生命科學和化學分析上，研發和提供了獨特的，先進的解決方案。科美，作為測量和分析技術市場上的領頭和動力，以它突出的表現得到了世界范圍的認可。
