KOSAKA LAB ET 4000A
微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)（探針接觸式臺(tái)階儀）
株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
特點(diǎn)：
l 的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。
l 超高真直度，可確保量測(cè)圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量保證真直度的前提下長(zhǎng)距離量測(cè)。
l 采用超低噪音直動(dòng)式LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
l 配備高分辨率的CCD即時(shí)進(jìn)行高定位測(cè)量。
l 可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá)60多種。
l 適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。
技術(shù)參數(shù)：
一、測(cè)定工件：
1.工件尺寸 210mm×210mm
2. 工件厚度 50mm
3. 工件重量 2kg
二、檢出器（pickup）：
1. Z方向測(cè)定范圍 Max. 100μm
2. Z方向分解能 0.1nm
3. 測(cè)定力 min. 0.05mgf,max.50mg0.5uN ~500Un(0.05mgf~50mgf)
4. 觸針半徑 0.5, 2 μm
5. 驅(qū)動(dòng)方式 直動(dòng)式
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng)) 100mm
2. 移動(dòng)的真直度 0.005μm/5mm
3. 測(cè)定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時(shí)速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現(xiàn)性 ±5μm
7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質(zhì)Cr,
無潤(rùn)滑(于移動(dòng)臺(tái)側(cè),使用鐵弗龍折動(dòng)材料)
8. 驅(qū)動(dòng) DC motor + Dynamic belt
四、Y軸(位置決定用)：
1. 移動(dòng)量 52mm
2. 移動(dòng)速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller滑軌
4. 驅(qū)動(dòng) DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
六、工件臺(tái)：
1. 工件臺(tái)尺寸 220mm×220mm
2. 自動(dòng)傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/150mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅(qū)動(dòng) pulse motor
七、全自動(dòng)量測(cè)功能
八、工件觀察 max.80 倍(可選購(gòu)其它高倍率CCD)
九、床臺(tái) 材質(zhì)為花崗巖石
十、段差測(cè)定再現(xiàn)性 1δ, 5A°以內(nèi)
十一、防振臺(tái)(選購(gòu)) 落地型或桌上型
十二、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十三、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺(tái))
十四、本體重量 約200Kg(不含防震臺(tái))
