l 測(cè)量行程(X,Y) ：300 mm×200 mm

l Z軸調(diào)焦升降測(cè)量范圍：≤200mm

l 分辨率：0.001mm

l X、Y軸坐標(biāo)示值誤差：U≤(3+L/200)μm 

l 金屬臺(tái)面尺寸：640mm*410mm

l 玻璃臺(tái)尺寸：229mm×329mm

l 承載重量：25 kg

l 影像系統(tǒng)： 日本 SONY CCD 彩色分辨率工業(yè)攝像機(jī) CCD，

l 物鏡：美國(guó) NITAR 全自動(dòng)變倍鏡頭可連續(xù)變倍  光學(xué)放大倍率 0.7×-4.5× 

l 視頻總倍率：20X～150X

l 物方視場(chǎng)：10.6-1.6mm，工作距離 90mm

l 光柵尺：光柵尺,分辨率 0.0005mm

l 照明系統(tǒng)：程控可調(diào) LED 表面光和底光（配置同軸光）

l 傳動(dòng)方式：X、Y、Z 軸均采用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿傳動(dòng)的型式

l 操作方式： 四軸日本伺服電機(jī) 三軸運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)： 1500mm/min 三軸定位： 0.001mm  

l 主機(jī)外形尺約：850 mm×640mm×980 mm

l 機(jī)臺(tái)底座：高花崗巖 00 級(jí)

l 儀器總重：約 250kg

l 測(cè)量測(cè)軟件：全自動(dòng)測(cè)量軟件 智能測(cè) 量 儀 測(cè) 量 軟 件

l 數(shù)據(jù)輸出：測(cè)量數(shù)據(jù) Word(doc)、Excel(xls)

l 物件放大攝像圖形(bmp、jpg)、二維圖形 AutoCAD(dxf)

l 簡(jiǎn)單 SPC 分析，數(shù)據(jù) Word(doc 格式)、Excel(xls 格式)

l 電源：AC 220±5V、50Hz

l 使用環(huán)境：溫度 20±3 ℃，濕度 35%-65%