特點
• 大幅度了驅動速度(X 軸：80mm/s, Z2
軸：20mm/s)，近一步降低了總測量時間。
• 為了在時段內維持儀器的直線度規
格，三豐公司采用了具有的耐摩擦
性及穩定性的高硬度陶瓷導軌。
• 大量的外周設備選件支持CNC 模式，從
而可以很容易實現CNC 測量。
• 驅動裝置(X 軸) 和立柱(Z2 軸) 中集成了高
線性編碼器(Z2 軸為ABS 型)，從而提
高了在垂直方向持續自動測量小孔和不
易定位工件的重復。
• X 軸：&plun;(0.8+0.01L)µm,
Z1 軸：&plun;(0.8+|0.5H|/25)µm*，針對高精
度工件的測量所設計。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 為驅動長度，H 為測量高度(mm)
• CV-4100 系列的驅動裝置集成了激光全息
測微計檢測器，在Z 軸(垂直方向) 的窄／
寬測量范圍內，提供卓越的和分辨
率。

技術參數
X 軸
測量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05µm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 80mm/s 和手動
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向前／向后
直線度: 0.8µm/100mm, 2µm/200mm
* 當X 軸在水平方向上
指示: &plun;(1+0.01L)µm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C 時) &plun;(0.8+0.01L)µm (CV-4100S4, H4, W4)
&plun;(1+0.02L)µm (CV-3100S8, H8, W8)
&plun;(0.8+0.02L)µm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 為驅動長度(mm)
傾斜范圍: &plun;45°

Z2 軸(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1µm
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅動速度: 0 - 20mm/s 和手動

Z1 軸 (檢測器)
測量范圍: &plun;25mm
分辨率: 0.2µm (CV-3100), 0.05µm (CV-4100)
檢測方法: 線性編碼器(CV-3100),
激光全息測微計 (CV-4100)
指示: &plun;(2+I4HI/100)µm (CV-3100)
(20° C 時) &plun;(0.8+I2HI/100)µm (CV-4100)
*H 為水平位置上的測量高度 (mm)
測針上／下運作: 弧形運動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上：77°、向下： 87°
(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針)
測針針尖 半徑: 25µm、硬質合金針尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
　控制裝置:14kg
　遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 240VAC &plun;10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機)