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［SFT-110的主要特征］1. 通過自動定位功能操作性 測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大樣品定位的操作性。2. 微區膜厚測量 通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。3. 多達5層的多鍍層測量 使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。4. 廣域觀察系統（選配） 可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。5. 對應大型印刷線路板（選配） 可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。6. 位 與以往機型相比，既了功能性又降低20%以上的價格。
產品規格
| 檢測器 | 比例計數管 |
| X射線源 | 空冷式小型X射線管 |
| 準直器 | 0.1、0.2mmφ2種 |
| 樣品觀察 | CCD攝像頭 |
| 樣品臺移動量 | 250（X）×200（Y）mm |
| 樣品高度 | 150mm |
