技術(shù)參數(shù)
X 軸
測量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動速度: 80mm/s 和手動
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向前／向后
直線度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
* 當(dāng)X 軸在水平方向上
指示: &plun;(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)
(20° C 時) &plun;(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)
&plun;(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)
&plun;(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)
* L 為驅(qū)動長度(mm)
傾斜范圍: &plun;45°
Z2 軸(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s 和手動
Z1 軸 (檢測器)
測量范圍: &plun;25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)
檢測方法: 線性編碼器(CV-3100),
激光全息測微計 (CV-4100)
指示: &plun;(2+I4HI/100)μm (CV-3100)
(20° C 時) &plun;(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)
*H 為水平位置上的測量高度 (mm)
測針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上：77°、向下： 87°
(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)
測針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機(jī): 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
　控制裝置:14kg
　遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 240VAC &plun;10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機(jī))
三豐公司具有意義的
高激光全息光柵技
術(shù)，運(yùn)用了衍射光干涉現(xiàn)
象，了近似干涉儀級
別的高，了
測量范圍50 mm 內(nèi)高
達(dá)0.05μm 的分辨率。
檢測原理圖
批量校準(zhǔn)功能
• 使用校準(zhǔn)規(guī)，可同時進(jìn)行設(shè)備的Z 軸
增益，對稱及針尖半徑的校準(zhǔn)。