主要特征:
三軸導軌均采用天然花崗巖,具有相同的溫度特性及剛性
* 三軸導軌均采用高自潔式空氣軸承,運動更平穩,導軌受磨損
* 單邊驅動活動橋式結構,顯著運動性能,測量及穩定性
* Y軸采用整體燕尾式導軌,消除了運動扭擺,了測量及穩定性
* 歐洲開放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
* 控制系統采用歐洲高自動控制系統,該系統內嵌32位微處理器,真正實現實時控制
* 三軸均采用大功率驅動器、電機及雙級減速裝置,傳動、準確
規格型號與技術指標:
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* 三軸導軌均采用高自潔式空氣軸承,運動更平穩,導軌受磨損
* 單邊驅動活動橋式結構,顯著運動性能,測量及穩定性
* Y軸采用整體燕尾式導軌,消除了運動扭擺,了測量及穩定性
* 歐洲開放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
* 控制系統采用歐洲高自動控制系統,該系統內嵌32位微處理器,真正實現實時控制
* 三軸均采用大功率驅動器、電機及雙級減速裝置,傳動、準確
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