探針式輪廓儀（臺階儀/膜厚儀）Dektak XT
　　布魯克 Dektak XT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項性的設計，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5＆＃197；。臺階儀這項性能的了過去40年Dektak技術的，更加鞏固了其行業(yè)。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，Dektak XT實現(xiàn)了性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術到第十代Dektak XT臺階儀，能夠在微電子，半導體，亮度發(fā)光二管（LED）、、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。
　　
　　Dektak XT 技術參數(shù)：
　　1. 臺階高度重復性5＆＃197；
　　2. 單拱（Single-arch）設計大大了掃描穩(wěn)定性
　　3. 前置敏化器件，降低了噪音對測量的干擾
　　4. 新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力了40%
　　5. 64-bit，Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度了十倍。
　　6. 功能卓越，操作簡易
　　7. 直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行
　　8. 針尖自動校準系統(tǒng)讓用戶更換針尖是難事
　　9. 臺階儀（表面輪廓儀）領域無可撼動的
　　10. 單傳感器設計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍