項目：M2030V型 M2030A
1、流量規格（N2）：10sccm～30slpm
2、準確度：±1％F.S（Full Scale）
3、重復：±0.25％F.S（Full Scale）
4、響應時間：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐壓： 95bar
6、工作環境溫度：5℃～65℃
7、輸入輸出信號：0～5Vdcor4～20mA
8、電源：±15Vdc，350mA
9、外形尺寸
總長：依進氣口、出氣口接頭規格而定
寬：36mm；高：138mm
1、流量規格（N2）：10sccm～30slpm
2、準確度：±1％F.S（Full Scale）
3、重復：±0.25％F.S（Full Scale）
4、響應時間：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐壓： 95bar
6、工作環境溫度：5℃～65℃
7、輸入輸出信號：0～5Vdcor4～20mA
8、電源：±15Vdc，350mA
9、外形尺寸
總長：依進氣口、出氣口接頭規格而定
寬：36mm；高：138mm
