表面粗糙度、輪廓形狀一體機
Formtracer (表面粗糙度 / 輪廓測量裝置) SV-C3200 / SV-C4500
525系列 — 表面粗糙度/輪廓測量儀
特點
? 大幅的驅(qū)動速度 (X1軸: 80 mm/s, Z2
軸立柱: 30mm/s) 進一步減少了總的測量
時間。
? 為了長時間保持橫往返直線度規(guī)格,三
豐公司采用堅硬的陶瓷導軌,既老
化又經(jīng)久。
? 驅(qū)動器 (X1軸) 和立柱 (Z2軸) 均配備了高
線形編碼器 (其中Z2軸上為ABS型)。
因此,在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、
對較難定位部件的重復測量的重復
得以。
自動測量
? 在與CNC機型配套使用的眾多外設選件
的支持下,可實現(xiàn)自動測量
? 當結(jié)合使用新產(chǎn)品雙面錐型測針 (向上和
向下方向上有接觸點),SV-C4500系列的輪
廓驅(qū)動單元通過與上下圓錐測針的組合,
實現(xiàn)了上下兩面連續(xù)測量的功能從而不
需要改變測臂方向就能對工件進行復位.
輪廓測量技術(shù)參數(shù):
X1軸
測量范圍:
100mm 或 200mm
分辨率:
0.05μm
長度基準:
反射型線性編碼器
驅(qū)動速度:
0 - 80mm/s 外加手動
測量速度:
0.02 - 5mm/s
移動方向:
向前/向后
直線度:
0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
*以X1軸為水平方向上
直線位移:
±(1+0.01L)μm (SV-C3200S4, H4, W4)
(20oC時)
±(0.8+0.01L)μm (SV-C4500S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (SV-C3200S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (SV-C4500S8, H8, W8)
* L 為驅(qū)動長度 (mm)
傾角范圍:
±45o (帶有X1軸傾斜單位)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動:
300mm 或 500mm
分辨率:
1μm
長度基準:
ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度:
0 - 30mm/s 外加手動
Z1 軸 (檢出器)
測量范圍:
±30mm
分辨率:
0.04μm (SV-C3200),
0.02μm (SV-C4500)
標尺:
線性編碼器
(20oC時)
±(1.6+|2H|/100)μm (SV-C3200)
±(0.8+|2H|/100)μm (SV-C4500)
*H: 基于水平位置的測量高度 (mm)
測針上/下運作: 弧形移動
測針方向:
向上/向下 (SV-C3200)
( 上下可連續(xù)測量 ) (SV-C4500)
測力:
30mN (SV-C3200)
10, 20, 30, 40, 50mN (SV-C4500)
*如 SV-C4500設置測力
跟蹤角度:
向上: 77o, 向下: 83o
(使用配置的標準測頭, 依表面粗糙度
而定)
測針針尖
半徑 : 25μm, 硬質(zhì)合金
表面粗糙度測量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測量范圍:
100mm 或 200mm
分辨率:
0.05μm
長度基準:
線性編碼器
驅(qū)動速度:
0 - 80mm/s 外加手動
移動方向:
向后
直線度:
(0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動:
300mm 或 500mm
分辨率:
1μm
長度基準:
ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度:
0 - 30mm/s 外加手動
檢出器
范圍/分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測針選件時,
可達2400μm)
測力:
4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖:
金剛石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR:低測力型)
類型:
差動電感式







