1、系統限真空度:<5×10-5Pa
2、工作真空度:5×10-3 Pa
3、加熱溫度:650℃
4、工作溫度:600℃
5、溫度均勻性: ±4℃(600℃時)
6、溫度調范圍: <4℃(600℃時)
7、真空室內部均溫區:?300×320
8、真空室內部尺寸:?600×600
9、控制方式:PLC與溫控模塊,多點控溫
10、操作方式:觸摸屏
可根據用戶需求設計、加工、組裝。

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