概述
NG-A-PCI是用于測量二維精密的平面位移的測量系統。NG是一個XY網格編碼器系統,湍流效應是激光干涉儀經常會遇到的,該系統也可以避免與相單獨線性尺度關聯的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中,能夠其激光干涉儀的,并且以一個更經濟的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。
應用領域
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高的位置控制;
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實時校準;
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精密金剛石車削實驗室;
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鏡頭自動對焦;
主要特點
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亞納米的分辨率;
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重復性小于5nm;
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低阿貝誤差;
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對湍流效應及大氣壓強變化不敏感;
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占地面積小,重量輕;
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可選真空版本;
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易于安裝,包括柵格安裝的應力消除;
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柵格和探頭的間隙為12mm;
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對準誤差低;
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完善的技術支持;可定制;
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運作;
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