Throlabs公司的NanoMax系列6軸位移平臺是納米量級定位的強有力工具,它在兩個方面具有:一個通用支點和一個允許驅動器和通用底座連接的設計。NanoMax系列的調節范圍為:X、Y、Z軸上0.16"(4 mm),θx,θy,θz上6°??蛇x的壓電傳動器可進行閉環操作。裝置整體采用高剛度的柔性設計,X軸方向扭矩為1N•m,Z方向為0.5N•m.整個裝置具有大于130Hz(&plun;10%)的高共振頻率。帶有固定驅動裝置的平行柔性機構是Thorlabs 的技術,該技術使自由度擁有通用支點,簡化了調整過程,也降低了維護費用。圖1為六軸位移平臺外觀。
NanoTrak自準直控制器將智能主動反饋的準直控制系統和兩通道壓電控制器整合到一個臺式單元中。NanoTrak是構建準直系統的基本單元,可以被集成在運動定位系統中。作為APT系列中的一部分,本系統代表了光學準直技術新成果。






