有鐵芯直線電機模組系列
　　型號    LUFM135-025  LUFM135-100  LUFM135-200  LUFM135-300  LUFM135-XXX
　　行程/Total　Stroke  25mm  100mm  200mm  350mm  長6000mm
　　驅動系統/driver  線性伺服驅動器（ULM-4）持續電流：5A，峰值電流：10A，支持Capen，Ethenet
　　電壓/Voltage  220V
　　電流/Current  持續電流/Arms  5A
　　  峰值電流/Apk  10A
　　反饋/Feedback  光柵尺/ncontact　Linear　Encoder
　　分辨率/Resolution  0.01μm–5μm
　　速度/Maximum　Travel　Speed  1-2000mm/S
　　加速度/Maximum　Acceleration  3.5g（無負載）
　　負載/Maximum　Load（2）  200kg
　　準確性/Accuracy  HALAR（3）  ±1μm
　　  標準/Standard  ±2.0μm  ±2.0μm  ±3.0μm  ±3.0μm  ±3.0μm/100mm
　　重復性（3）  ±2μm
　　直線度和平面度  ±15μm  ±15μm  ±15μm  ±20μm  ±30μm/100mm
　　Pitch  ±5arc　sec  ±6arc　sec  ±8arc　sec  ±10arc　sec  ±12arc　sec
　　Roll  ±5arc　sec  ±6arc　sec  ±8arc　sec  ±10arc　sec  ±12arc　sec
　　Yaw  ±5arc　sec  ±5arc　sec  ±6arc　sec  ±7arc　sec  ±9arc　sec
　　重量/minal　Stage　Weight  2.8公斤  4.8公斤  5.8千克  7.6千克  
　　材質/Construction  全鋁車身/黑色陽處理完成/Aluminum　Body/Black　Adize　Finish
　　多軸系統的性能是取決于載荷和工作點。多軸或非標準應用，請向廠家咨詢。