工作原理：
　　熱式質量流量計由一個陶瓷半導體傳感器，溫度傳感器以及控制裝置組成。陶瓷半導體傳感器具有隨著周圍溫度的變化將自身的阻能動變化的特性。如果流體的流速發生變化，周圍溫度隨之發生變化，陶瓷半導體傳感器自身的阻將變化。利用這種特性測量流體的流速和流量。為了補償流體隨溫度的變化熱式質量流量計還設有了溫度補償傳感器。陶瓷半導體傳感器對于流體的非線性特性的反映，需要由內藏的微處理器進行數據處理。
　　
　　性能參數：
　　：10～100％校準范圍內讀數的±2％
　　在校準范圍的10％之內，滿量程的±0.5％
　　在50sfpm（標準英尺／分鐘，即0.25nm／s）之內，滿量程的±2％
　　重復：滿量程的±0.2％
　　壓力系數：±50psig（3.4barg）之內可以忽略。
　　高壓需要專門校準
　　響應時間：1秒后速度值的63％
　　溫度系數
　　±50℉之內由用戶指定條件，每℉讀數的±0.02％
　　±50℉～100℉之內由用戶指定條件，每℉讀數的±0.03％
　　±25℃之內由用戶指定條件，每℃讀數的±0.04％
　　±25℃～50℃之內由用戶指定條件，每℃讀數的±0.06％
　　
　　物理特性：
　　浸濕材料
　　探針：316L不銹鋼，傳感器：陶瓷
　　外殼護等級
　　危險區域（IP67），NEMA　4X（IP65）均為鍍塑鑄鋁
　　連接
　　兩個3／4英寸NPT　危險區域（IP67）
　　一個1／2英寸NPT　NEMA　4X（IP65）
　　安裝方式（可選）
　　ANSI　1英寸150磅的法蘭
　　帶有1／2英寸NPT公螺紋的1／2英寸管套
　　證書
　　EEx　Cenelec
　　FM
　　獲得UKAS的ISO9001

　　工作特性（Ⅰ）
　　氣體
　　適合于316L不銹鋼的大多數氣體
　　質量流量范圍
　　以空氣和氮氣為準，小值界于0～200sfpm（0～1nm／s），值界于0～6000sfpm（0～30nm／s）
　　氣體壓力
　　介質壓力：值500psig（20barg）
　　1英寸150lb法蘭（15℉～176℉）：值185psig（12.8barg）
　　低壓熱螺栓：值100psig（7barg）
　　高壓熱螺栓：值　286psig（20barg）
　　壓力損失
　　管道直徑為3英寸或大于3英寸時可以忽略
　　氣體和環境溫度
　　氣體---15℉～176℉（-10℃～80℃）
　　可選擇項-15℉～250℉（-26℃～120℃）
　　需要更高溫度，請咨詢廠商
　　環境----5℉～120℉（-20℃～50℃）

　　泄漏
　　1X10-4atm　cc／sec氦值
　　電源要求
　　22～28VDC（通常），值625mA
　　輸出信號
　　線性0～10VDC，1000Ω小負載或線性4～20mA相應的質量流量
　　報警
　　硬觸點，用戶可調整高低報警值
　　繼電器容量------值：24VDC–1.25A
　　100VAC–0.5A
　　顯示
　　文字數字2X16位背光液晶
　　全量程（50％～100％）
　　響應時間（1～7秒）
　　校正參數設置（0.5～5）
　　點調整
　　高低報警設置
　　累計器
　　8位數字（9，999，999.9）
　　可通過面板上的按鍵開關和磁開關進行軟件設置。