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FSG 系列小流量氣體質量流量傳感器 小流量氣體傳感器均采用（MEMS）流量傳感芯片來制作。產品適用于各類清潔氣體的應用。的封裝技術使之可應用于各類管徑（3～50mm）。成本低、易安裝、不需溫壓補償，可替代容積式或壓差原理的傳統流量計并可配以多種信號輸出，通過通訊接口實現網絡管理功能。 產品特點 傳感器靈敏度搞，小的始動流量 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度及壓力補償，保障了傳感器的高計量 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大 8～24V供電 傳感器點穩定度較傳統的熱式質量流量計有大的 結合二次儀表的微控制器智能技術，使該流量傳感器重復性好，實現了計量準確 的封裝技術采用直接測量，無需旁路，壓力損失大幅度減小 與智能流量計算機相連，可遠傳數據，也可現場顯示 本傳感器有RS485通訊模塊，配合計算機網絡可實現集中管理 FSG 系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現網絡化管理功能。 產品特點： 傳感器靈敏度高，有小的始動流量 傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大； 傳感器的點穩定度高 全量程高穩定性 全量程高度和優良的重復性 低功耗 低壓損 響應時間快 技術參數
外形圖 （ FSG4003 ） （ FSG4008 ） 
輸出引線定義
通訊方式 本傳感器通訊方式為 RS232 。 波特率 38400; 數據位 8; 停止位 1; 校驗位 / 流控制 無。 按以下步驟讀取數字信息： a ）通過 RS232 向傳感器送 0x9d （ 并取得返回信號 0x9d ）； b ）通過 RS232 向傳感器送 0x54 （并取得返回信號 0x54 ）； c ）流量計進入操作模式， RS232 將每隔一秒輸出一組數據： V=vvvv\nF=ffffff\n A=0\n;\n V=vvvv 電壓內碼值； F=ffffff 瞬時流量（相當于 fff.fffNL/min 或者 SCCM ） A=0 總流量（本傳感器未提供總流量，故 A=0 ）。 按以下步驟停止數據通訊： a ）通過 RS232 向傳感器送 0x9d （并取得返回信號 0x9d ）； b ）通過 RS232 向傳感器送 0x00 （并取得返回信號 0x00 ）； c ）流量計進入用戶模式， RS232 數據通訊停止。 安裝使用 1.打開產品包裝盒，包裝盒內應包含下列物品： a ）氣體質量流量傳感器一只 b ）連接電纜一根 ( 或與傳感器一體 ) c ） 用戶手冊一份 d ）合格證一份 2. 確認傳感器機械損壞。 3. 將傳感器安裝到管道上，前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段與傳感器上的管道保持同心 , 傳感器、直管段固定。傳感器、直管段應固定，如圖所示。
注意：安裝使用時，要傳感器前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段與傳感器上的管道保持同心 , 傳感器、直管段固定。 如果不能直管段，矽翔公司將不傳感器的。 4.將傳感器的引線按照所給定義正確連接到使用裝置上，屏蔽線接到保護地上。 5. 確認連接正確后，接通電源。 6. 接通電源預熱 15 分鐘后測量的參數值會更高。 及維護 1. 使用 產品用于有害氣體或性氣體須嚴格按照產品使用說明的限制。有關產品應用的新信息，請與廠家聯系索取或訪問公司網站。 強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產品正常工作，甚至對產品造成毀損。 產品經過密封處理并在裝箱前進行過漏試驗，在高壓下使用須按照產品使用說明的限制，否則會導致泄漏及問題。 |
