BCG450型B-A皮拉尼電容薄膜真空計
INFICON公司生產的BCG450型B-A皮拉尼電容薄膜真空計將三種不同的規(guī)管綜合在一個小型經濟的規(guī)管中,測量過程壓強和基本壓強從5×10-10至1500毫巴(3.75×10-10至1125乇)。BCG450用于取代三種傳感器(熱離子,對流增強型皮拉尼和真空開關),從而節(jié)省成本和寶貴的空間。
用戶性
◆ BCG450節(jié)省成本和設備空間,降低真空測量的安裝與設置的復雜性
◆ 10乇以上的與氣體類型無關的壓強測量,對許多混合氣體提供更的自鎖控制
◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱燈絲,過早燒毀
◆ 自動的高真空和大氣壓皮拉尼調整,無需操作人員干預
◆ 相對于大氣壓的差壓測量避免了與大氣壓變化有關的不穩(wěn)定性
◆ 傳感元件容易更換,帶機載校準數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的再現(xiàn)性
◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
典型應用
◆ 半導體工業(yè),傳送和自鎖室的壓強測量
◆ 工業(yè)鍍膜
◆ 在真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制










