MKS 是的生產工藝控制設備供應商之一，其產品廣泛地應用于各種半導體器件、平板顯示器、太陽能電池、LED、光學儲存介質、玻璃鍍膜、光電產品等生產設備及制藥和成像設備。MKS前瞻性的開發，推動其產品一直處于技術。MKS的電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監控技術，了設備完好率和產品成品率，了產量和產品性能。MKS產品起源于我們的壓力和流量測量與控制技術，延伸到材料遞送、氣體成份分析、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術。
MKS 擁有完整的技術及產品資源，無論是產品的研發設計、生產管理還是客戶支持服務，快速滿足客戶的各種需求。MKS主要提供有：氣體壓力及流量測量與控制、射頻/直流/微波電源發生器及測量工具、氟原子/臭氧反應氣體發生器、真空產品、氣體分析儀及信息和控制技術等產品。
工藝監控
-TOOLweb® 工藝和工藝腔環境監測。
-Vision 2000-B? 真空本底殘余氣體分析儀。
-Vision 2000-C? 化學氣相沉積 (CVD) 工藝殘余氣體分析儀。
-Vision 2000-E? 刻蝕 (Etch) 工藝殘余氣體分析儀。
-Vision 2000-P? 物相沉積 (PVD) 工藝殘余氣體分析儀。
-200/300mm Resist-Torr® 光刻膠監測器。
-HPQ3 高壓殘余氣體分析儀，主要用于PVD工藝氣測。
