225--高分辨正入射真空光譜儀
主要特點：
>15度正入射光路結構
>小像差及偏振
>通量密度
>凹面自聚焦光柵，尤其適合CCD、MCP等陣列探測器
>潔凈不銹鋼結構，高真空度
>分辨率可達0.005nm
>如需更高分辨率另有2m、3m、5m、6.6m焦距可選
主要技術參數 | |
波長范圍 | <30nm-300nm* |
光學結構 | 正入射 |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－10Torr |
焦距長度 | 1 m |
分辨率，半高寬 | 0.01nm* |
色散 | 0.83nm每毫米* |
校準 | 0.1nm* |
重復性 | 0.005nm* |
步距 | 0.0002nm* |
焦平面尺寸 | 25mm |
數值孔徑 | f/10.4 |
光柵尺寸 | 56*96mm |
充氮氣 | 可選 |
可選探測器 | CCD、MCP或單點探測器 |
狹縫 | 10um-2mm連續可調，高度2-20mm可調，手動或電動可選 |
*以上參數均為1200g/mm光柵參數
不同光柵主要參數 | ||||||||
光柵密度（g/mm） | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 150 | 75 |
分辨率** | 0.005 | 0.008 | 0.01 | 0.015 | 0.03 | 0.06 | 0.12 | 0.24 |
色散（nm/mm） | 0.28 | 0.42 | 0.56 | 0.83 | 1.66 | 3.32 | 6.6 | 13.3 |
波長范圍30nm至 | 100nm | 150nm | 200nm | 300nm | 600nm | 1.2um | 2.4um | 4.8um |
**分辨率測試條件：10um狹縫寬度，2mm狹縫寬度，313.1nm
其他可選焦距正入射譜儀 | |||
焦距長度（m） | 2 | 3 | 5 |
波長覆蓋范圍 | 300nm | 300nm | 300nm |
分辨率（nm）@313.1nm | 0.007 | 0.005 | 0.003 |
色散（nm/mm） | 0.42 | 0.28 | 0.17 |
