儀器用途:主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域,可對樣品進(jìn)行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)簟⒐饫w照明,可以配電動物鏡轉(zhuǎn)盤、成像系統(tǒng),可以對應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
儀器主體參數(shù):
儀器型號:YVM-10080CNC
測量范圍:1000*800*200mm
測量(X.Y):3+L/1000
測量(Z):3+L/300
重復(fù):≤2um







