一、STACIS 2100用戶及應(yīng)用領(lǐng)域

l 微電子、半導(dǎo)體

-晶片檢測

-顯微光刻技術(shù)

-掩膜校準

l 科學(xué)研究、納米技術(shù)

-SEM, TEM

-STEM, SPM

l 激光臺

-生命科學(xué)、研發(fā)

l 工業(yè)應(yīng)用

-精密加工

二、為什么要選擇主動系統(tǒng)？

l 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到的隔振

l 吞吐量、質(zhì)量、生產(chǎn)量

l 更加細小特色的成像能力

l 研究前沿

l 比氣動平臺更穩(wěn)定

l 滿足SEM標準地點安裝參數(shù)的解決方案

l 使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低

三、為何選擇主動系統(tǒng), 為何選擇STACIS?

l 正中研究者、科學(xué)家、設(shè)計者、的心聲棗?#25105;需要盡可能的無震環(huán)境！?/SPAN>

l 市場上強勁的低頻隔振系統(tǒng)。

l 目前，的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動參數(shù)需要主動隔振系統(tǒng)

l STACIS次發(fā)明于 mid 1990s, 經(jīng)TMC進一步發(fā)展，開發(fā)了數(shù)以千計的安裝系統(tǒng)，這是隔振控制領(lǐng)域的提供的技術(shù). 

四、STACIS特色與優(yōu)勢

l 寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果

l 亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

l 的可堆疊式設(shè)計

l 主動硬式安裝結(jié)構(gòu)，而非軟式懸浮，無低頻漂移：主動元件與剛性彈簧相連

l 被動彈簧濾除了來自Stacis傳感器的負載諧振，需要的調(diào)諧少，甚至無需調(diào)諧

l 由于阻不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器

l 大負載，可達 2000kg

l 市場是的隔振系統(tǒng)

五、STACIS相比氣動隔離器剛性大400倍 ?/FONT>

穩(wěn)定時間作為對擾動的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計，而大大縮短，理想應(yīng)用于機械制造、動態(tài)負載、激光或者光源需要安裝的剛性臺面的情況下。

六、如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是的

l  STACIS的主動隔振帶寬為 0.6Hz - 150Hz

l  6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB 

l  從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB) 

七、的環(huán)境調(diào)查

安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動、磁場、聲波

安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系

l 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

l 開具環(huán)境

l 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

l 性覆蓋。有求應(yīng)，博學(xué)多才

l TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶推薦實用性方案 

l 40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內(nèi)的