一.激光干涉儀介紹

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一，利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量，具有非接觸、檢測(cè)的特點(diǎn)，在不同領(lǐng)域都有為廣泛的應(yīng)用，如利用F-P干涉儀和半導(dǎo)體激光二管測(cè)量大型精密離心靜態(tài)臂長(zhǎng)；利用電子散斑干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)物體表面微小形變的非接觸式測(cè)量、李永干涉合成孔徑雷達(dá)實(shí)現(xiàn)對(duì)地表變形進(jìn)行測(cè)量；利用相干梯度敏感干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)靜態(tài)斷裂現(xiàn)象的測(cè)量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期度分布，從而被用來(lái)制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測(cè)量、應(yīng)變與應(yīng)力分析、缺陷或損傷探測(cè)、振動(dòng)模式可視化及測(cè)量、晶體和蛋白質(zhì)生長(zhǎng)過(guò)程監(jiān)測(cè)、流體中密度場(chǎng)和熱對(duì)流場(chǎng)的觀察與測(cè)量、以及光學(xué)材料與器件的參數(shù)測(cè)量等。

二.激光干涉儀用途

1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供依據(jù)。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。

4.激光干涉儀又是一種高的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位大為。

5.激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)。

三.深圳中圖SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

      系統(tǒng)性能

2  測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

2  穩(wěn)頻：0.05ppm

2  動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

2  預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

2  工作溫度范圍：0~40℃

2  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

2  存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

2  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測(cè)量

2  測(cè)量距離：0-40m

2  測(cè)量：0.5ppm (0-40℃)

2  測(cè)量分辨率：1nm

2  測(cè)量速度：4m/sec

      角度測(cè)量

2  軸向量程：0-15m

2  測(cè)量范圍：±10°

2  測(cè)量：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

2  測(cè)量分辨率：0.1μm/m