一.激光干涉儀概述

激光具有度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

二.激光干涉儀應用

（1）幾何檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位、重復定位、微量位移等。利用中圖SJ6000激光干涉儀不能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床，另外操作者無需具床參數(shù)及補償方法的知識。

（3）數(shù)控轉臺分度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用SJ6000激光干涉儀加上轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸曲線，知曉其的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。

（4）數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用CHOTT動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等

三.激光干涉儀使用注意事項

1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。

2、在移動儀器時，為導軌變形，應托住底座再進行移動。

3、儀器的光學件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以發(fā)霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此要時要使用精密儀表油潤滑。

6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

四.激光干涉儀維護說明

1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，振動，儀器搬動 時，應托住底座，以導軌變形。 　 

2、光學件不用時，應存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭。

3、傳動部件應有良好的潤滑。是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調(diào)整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。

五.中圖SJ6000激光干涉儀技術參數(shù)

      系統(tǒng)性能

2  測量方式：單頻

2  穩(wěn)頻：0.05ppm

2  動態(tài)采集頻率：50 kHz

2  預熱時間：5-10分鐘

2  工作溫度范圍：0~40℃

2  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

2  存儲溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補償示值誤差

2  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測量

2  測量距離：0-40m

2  測量：0.5ppm (0-40℃)

2  測量分辨率：1nm