北京星微自動化科技有限公司
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XVSST系列運動平臺是星微科技持續在材料、加工技術、精密結構分析和設計上不斷投入的結果，我們研發的目標是為今天要求嚴格的半導體工業設備提供高和出率的運動系統，同時是我們有著在迎接未來的挑戰中保持的技術能力SST氣浮平臺能滿足在電子及半導體加工、檢測設備的具有挑戰性的要求。
產品技術特點
傳統的平面式XY雙驅氣浮平臺都采用雙氣浮導向導軌的形式，雙氣浮導軌結構在安裝調試時對導軌本身的以及導軌之間的平行度要求高，并且該結構形式對環境恒溫要求也很高；SST系列運動平臺為了解決這些問題采用了開放式T型氣浮結構設計，T型結構具械安裝調試簡單，對環境的恒溫要求低，便于集成到客戶產品當中。
產品技術指標
產品技術參數
產品尺寸圖
應用領域
科研；工業制造；激光加工制造；電子件生產、組裝；半導體制造、檢測；平面顯示器制造、檢測
