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ABRS系列氣浮轉(zhuǎn)臺具有轉(zhuǎn)動，勻速穩(wěn)定性、小的軸向和徑向跳動誤差，以及高剛性等特點(diǎn)。ABRS系列氣浮轉(zhuǎn)臺是憑借研發(fā)團(tuán)隊(duì)的材料、結(jié)構(gòu)、分析等技術(shù)，對轉(zhuǎn)臺整體進(jìn)行不斷優(yōu)化的結(jié)果，非接觸的氣浮軸承結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)無摩擦的轉(zhuǎn)動，使ABRS系列氣浮轉(zhuǎn)臺微米以下級別的轉(zhuǎn)角。
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
科研；工業(yè)制造；激光加工制造；電子件生產(chǎn)、組裝；半導(dǎo)體制造、檢測；平面顯示器制造、檢測
