溫控規格: | 控溫范圍 | 4K-500K | | 控溫 | 0.001K | | 溫度穩定性 | 4 K + - 0.1 K | | 77 K + - 0.1 K | | 373 K + - 0.08 K | | 473 K + - 0.1 K | | 823 K + - 0.2 K(可選) | | 973 K + - 1.0K(可選) | | 常溫到8K冷卻時間: | 1小時40分鐘 | | 8K到常溫升溫時間: | 1小時30分鐘 | | 從常溫開始的升溫時間 | 473K 823K 973K | | (4 chuck，單位分：秒) | 25:00 55:00 70:00 | | 電源 | 直流 | | 材質 | SS304 | | 功率(4chuck) | 50/100W |
機械規格 | 針座行程 | | | X軸方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以選擇50.8mm | | Y軸方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以選擇50.8mm | | Z軸方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以選擇50.8mm | | 移動 | | | X軸方向 | 10 micron | | 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | Y軸方向 | 10 micron | | 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | Z軸方向 | 10 micron | | 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron | | 探針可旋轉角度(應用于射頻測試) | +-5 度 | | |
光學部件規格| 顯微鏡X-Y軸方向行程 | 2"*2" | | 可以選擇4"*4" | | 總共放大倍率 | 240X | | 可以選擇更率 | | 真空腔觀察窗口 | 4 inch | | 外部石英材質99%穿過率 | | 內部吸收可見光通過 | | 光源 | 150W可連續調節雙光纖導引 |
可選附件震桌方形chuck分子泵組射頻部件Chuck可外部移動裝置客戶定制。 |
