樣品變溫臺 | |
特點(diǎn) | |
低噪聲，直流電驅(qū)動 | |
隔離套裝實(shí)現(xiàn)P電信測試 | |
隔水循護(hù)chuck底座 | |
可以在大多數(shù)探針臺上加裝 | |
易于裝卸 | |
規(guī)格 | |
真空吸附載物臺的尺寸 | 4, 6, 8,英寸直徑，1英寸厚度 |
Chuck 平整度 | + -10 微米 |
控溫范圍 | 常溫到300攝氏度 |
控溫 | 0.1℃ |
溫度穩(wěn)定度 | +- 1% |
從25 ℃開始升溫時間 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ |
(4 英寸chuck，單位為 分鐘：秒 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 |
電源 | 直流 |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
需求 | |
供電 | 220 VAC, 60Hz |
電力消耗 | 4英寸chuck 700W |
6英寸chuck 1000W | |
8英寸chuck 1500 W | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
循環(huán)水 | 20 Liter/Min |
尺寸 | |
控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 | |
重20 Kg | |
附件 | |
高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | |
低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ | |
用于其他品牌探針臺的安裝轉(zhuǎn)接口 | |
方形chuck | |
更高溫度控制 | |
更高溫度均勻性 | |
加速升溫配件 | |
水冷箱 | |
更低電流測試用的屏蔽裝置 | |
真空腔體 | |
測試屏蔽腔體 | |
真空吸附的chuck | |
鍍金的chuck | |
鍍鎳的chuck |
深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
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