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氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中不可少的重要裝備，并可離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項(xiàng)技術(shù)的工藝性能。UP1L 純氣體純化器系列主要服務(wù)于各類科研與分析儀器，如氣相色譜儀、輝光質(zhì)譜儀、光譜儀、鍍膜機(jī)等，為其高純度載氣或分析氣，也可用于材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高焊接等用氣純度。
氣體種類 | 產(chǎn)品用途 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
He | 載氣、保護(hù)氣純化 | 色譜儀等分析儀器載氣 |
Ar | 載氣、保護(hù)氣、吹掃氣純化 | 輝光質(zhì)譜儀、磁控濺射、納米材料制備，熱處理保護(hù)氣，氬弧焊吹掃氣 |
N2 | 保護(hù)氣、吹掃氣純化 | 磁控濺射反應(yīng)氣、氣路吹掃氣 |
H2 | 反應(yīng)氣、保護(hù)氣純化 | 材料生長、鍍膜反應(yīng)氣、退火保護(hù)氣 |
