詢價
- 企業類型：貿易商
- 新舊程度：全新
- 原產地：中國
- 濺射電流：≤100mA
- 工作壓力：2Pa - 10Pa
磁控濺射儀(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
技術參數
真空泵.--(泵油)旋轉真空泵
旋轉真空泵轉速50 Hz: 8 m2/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m%/h (2.6 L/s)
JI限真空度2Pa
濺射電流≤100mA
工作壓力2Pa - 10Pa
抽真空時間<5 Min (2 Pa)
磁控濺射儀(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
真空測量 測量范圍從大氣壓到2x102mbar
氣體控制氣體流量控制閥
腔體尺寸φ186*120mm(高)抗刮石英玻璃
磁控靶源 靶尺寸φ50/ 濺射靶源:金、銀、鉑
操作方法 操作手冊。
重量/尺寸30kg/430mm 長x 390mm 寬x 420mm 高
工作電源AC 220V 50Hz
電源功率<2000W
冷卻方式 電制冷(選配)
磁控濺射儀(含靶材4片） ZX/GEMINI-500
自動化鍍膜流程
全流程自動運行減少人工誤差提|升|重復性與效率
GAO兼容性與均勻沉積
兼容多種靶材適配多類樣品沉積均勻一致
熱敏樣品保護熱敏濺射功能功率緩慢爬升降低樣品受熱風險
操作與模塊化設計
觸控操作直觀
模塊化便于升JI維護加便捷
